日本ETEX非接觸式在線真空蒸鍍膜測(cè)厚儀技術(shù)解析與應(yīng)用

一、技術(shù)原理

二、技術(shù)特點(diǎn)

1. 非接觸式測(cè)量：采用光學(xué)非接觸測(cè)量方式，無需與被測(cè)材料直接接觸，避免了對(duì)材料的損傷，特別適用于對(duì)極薄膜層或易損壞材料的測(cè)量。
2. 高精度與穩(wěn)定性：具備高測(cè)量精度，能夠提供穩(wěn)定可靠的測(cè)試數(shù)據(jù)，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
3. 實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)：可實(shí)時(shí)在線測(cè)量鍍膜厚度，幫助生產(chǎn)過程中及時(shí)掌握產(chǎn)品質(zhì)量，提前發(fā)現(xiàn)問題并調(diào)整工藝，提高產(chǎn)品良品率。
4. 靈活的測(cè)試點(diǎn)配置：用戶可根據(jù)需要自由選擇測(cè)試點(diǎn)的數(shù)量和位置，最多可定制45個(gè)測(cè)試點(diǎn)。
5. 智能報(bào)警與控制：配備過限報(bào)警功能，可智能控制生產(chǎn)質(zhì)量，減少對(duì)人工操作的依賴，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。
6. 溫度補(bǔ)償功能：具備溫度補(bǔ)償功能，即使在高溫環(huán)境下也能保持測(cè)量值的穩(wěn)定。
7. 自動(dòng)與手動(dòng)校準(zhǔn)：提供自動(dòng)校準(zhǔn)和手動(dòng)校準(zhǔn)功能，用戶可根據(jù)需求自行設(shè)置，確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
8. 模塊化設(shè)計(jì)與維護(hù)：采用模塊化設(shè)計(jì)，各模塊通過航空插頭連接，單點(diǎn)可拆卸，便于未來的維護(hù)和升級(jí)。
9. 抗干擾與防塵設(shè)計(jì)：具有良好的抗干擾能力和防塵設(shè)計(jì)，能適應(yīng)復(fù)雜的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境，只需定期清潔探頭前玻璃即可。
10. 通信與兼容性：配備RS485接口和MODBUS通信協(xié)議，可方便地與PLC、HMI、PC等設(shè)備連接，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體行業(yè)：在半導(dǎo)體制造中，膜層厚度的均勻性和精準(zhǔn)度對(duì)芯片性能至關(guān)重要。ETEX測(cè)厚儀能夠確保每一層膜的厚度符合設(shè)計(jì)要求，從而提高芯片的性能與良品率。
2. 光學(xué)行業(yè)：光學(xué)元件如鏡頭、濾光片等需要光學(xué)透過率和膜層均勻性。該測(cè)厚儀可以幫助光學(xué)工程師優(yōu)化膜層設(shè)計(jì)，改善光學(xué)特性。
3. 裝飾行業(yè)：在裝飾性鍍膜如電鍍、噴涂中，膜層厚度直接影響產(chǎn)品的外觀和使用壽命。通過ETEX測(cè)厚儀，可以快速監(jiān)測(cè)鍍膜厚度，確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。
4. 醫(yī)療器械行業(yè)：在醫(yī)療器械中，如植入物和手術(shù)工具的鍍膜，不僅要求美觀，更要保證安全與生物相容性。精準(zhǔn)的膜厚控制有助于提升這些產(chǎn)品的性能。
5. 玻璃制造：在玻璃涂層生產(chǎn)線上，ETEX測(cè)厚儀可實(shí)時(shí)檢測(cè)玻璃的膜厚、均勻性和光透射率，避免生產(chǎn)出不符合國家標(biāo)準(zhǔn)的玻璃產(chǎn)品，減少損失，提高生產(chǎn)效率。
6. 鋁箔鍍膜：在鋁箔真空鍍鋁過程中，該測(cè)厚儀能夠一次性檢測(cè)大量、寬幅和長尺寸的鋁箔，實(shí)現(xiàn)在線自動(dòng)測(cè)試、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)、超限報(bào)警以及與鍍膜機(jī)的RS485通信，為鍍膜機(jī)的閉環(huán)控制提供設(shè)備支持。
7. 硫化鋅薄膜檢測(cè)：硫化鋅薄膜主要通過熱蒸發(fā)制備，ETEX測(cè)厚儀利用光學(xué)密度與膜厚成比例的原理，通過監(jiān)測(cè)硫化鋅薄膜的光學(xué)透射率（光學(xué)密度）來實(shí)現(xiàn)對(duì)其均勻性的監(jiān)控。
8. 銅鍍膜檢測(cè)：在柔性基材（如PET等材料）上通過磁控濺射鍍膜機(jī)沉積高純無氧銅導(dǎo)電層時(shí)，ETEX測(cè)厚儀可以幫助實(shí)時(shí)了解鍍膜情況，并實(shí)時(shí)調(diào)整鍍膜機(jī)的工藝參數(shù)，節(jié)省時(shí)間和成本。