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        小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)技術解析及應用前景

        發布時間: 2023-09-12  點擊次數: 636次

        摘要:
        小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)是一種適用于MBE等超高真空設備的先進束源。本文將介紹其特點和設備規格,并重點探討其在MBE設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等應用領域的潛力。

        QQ截圖20230912211933.jpg

        介紹:
        ERS-35采用了電子回旋共振放電技術,可在超高真空環境下提供穩定的原子束或自由基束,廣泛應用于分子束外延(MBE)和其他超高真空設備中。其具備以下特點:

        1. wanquan金屬密封:ERS-35與超高真空設備兼容,采用wanquan金屬密封設計,確保在真空環境中穩定工作,避免任何氣體泄漏和污染。

        2. 易于操作的同軸電纜電源:ERS-35配備了易于操作的同軸電纜電源,簡化了功率供應的連接和控制,提高了設備的可操作性和穩定性。

        3. 無金屬污染的介電襯里:為了確保高純度的束流輸出,ERS-35采用無金屬污染的介電襯里,有效減少了雜質的產生和污染的風險。

        4. 帶偏壓電極的介電引出柵:ERS-35的介電引出柵設計了帶偏壓電極,擅長產生自由基束。這種設計允許束源輸出具有高度定向性和可調控性的自由基束。

        設備規格:

        • 連接真空端口標準:ICF70,與常見的超高真空設備接口標準兼容。

        • 同軸連接器標準:N型,便于與其他設備進行連接和集成。

        • 適用微波頻率:2.45GHz,與常用工業微波設備兼容。

        • 允許微波功率:最大100W,提供充足的能量供應。

        • 冷卻方式:水冷,確保設備在長時間運行中保持合適的溫度。

        應用實例:

        1. MBE設備用氮/氧自由基源:ERS-35能夠產生穩定而高純度的氮或氧自由基束,可用于分子束外延(MBE)中的材料沉積和氣相外延生長,實現精確的薄膜和納米結構的控制。

        2. 表面清洗用原子氫源:ERS-35的原子束輸出適用于表面清洗和表面修飾應用。氫原子束可以高效地清除表面的雜質和氧化物,并恢復材料的純凈度和特性。

        結論:
        小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)通過其
        wanquan金屬密封、易操作的同軸電纜電源和帶偏壓電極的介電引出柵等特點,廣泛應用于MBE設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等領域。隨著技術的進一步發展,ERS-35將為超高真空設備的研究和應用提供更多創新的可能性。


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